先穿上白色的防护服,再戴上白色的帽子,然后还要套上鞋套……进入潍坊高新区企业浪潮华光光电子股份有限公司的生产车间前,记者在工作人员的指导下认真做了如上的准备工作。
近年来,半导体照明产业在我国发展得如火如荼。对于普通消费者来说,往往只知道这种照明产品更省电、使用寿命更长,对其背后的生产环节特别是其中的核心材料知之甚少。记者近日在潍坊高新区采访,深入浪潮华光光电子股份有限公司生产车间,近距离了解了半导体照明产品用外延片的详细生产过程。
据介绍,浪潮华光光电子股份有限公司成立于1999年,主要产品有半导体照明产品和激光照明产品。浪潮华光在业内广为人知,不仅是因为生产出诸多应用产品,更主要的是由于其业务涉及化合物半导体外延材料、光电子器件,通过积极布局半导体照明产业链上游,结束了我国半导体照明芯片只能依靠进口的历史。
跟着工作人员,记者首先来到了生长外延片的车间。据介绍,外延片是半导体照明产品中芯片所用的原材料,是由很多物质在高温高压的环境下生长出来的。因此,生长外延片的炉子是最为关键的设备。
隔着玻璃,只见几台大型的炉子在运转。“我们的外延炉温度可以达到1000多℃,一次能长出几十层或者100多层,然后得到的薄片就是外延片。”工作人员介绍说。
据了解,浪潮华光使用的外延炉均采购自德国和美国两家最权威的外延炉生产厂商,一台就需要2000万元左右,而浪潮华光仅在潍坊的公司就拥有18台外延炉。
“我们的潍坊公司扩建时,潍坊高新区给了我们很大的支持,我们每买一台外延炉,潍坊高新区就给我们补贴50%。”浪潮华光公司总经理郑铁民介绍,潍坊高新区的财政补贴对于企业的发展帮助非常大,让企业有能力尽快扩大产能实现发展战略。
紧接着,记者一行来到了切割外延片的车间。据介绍,外延片生长出来再到做成芯片只是一个大的过程,但中间需要经过多个工艺环节。首先要把外延片切割成一个个的颗粒,根据功率等不同的指标,一片外延片最少可以切成2000粒,最多时可以切出8万粒。“我们可以想象一下,一个炉子能长出四五十片外延片,每一片若切出8万粒,可以切出的芯片是很多的。“工作人员自豪地说。
外延片切割后,还要经过2次蒸发、光刻、剪薄、锯片和全检等过程。这里的蒸发是指在外延片的表面蒸镀黄金,用黄金做电极。
参观完所有工序,记者来到了整个车间最后一个环节――筛选室。据介绍,即使同一片外延片切割出的颗粒,发光效率也会有所不同,一般位于外延片中间位置的芯片发光会亮一些,均匀性好一些,位于边缘的颗粒各项指标则会差一些,因此需要对芯片进行筛选。由于外延片切割出的芯片颗粒数量巨大,如果靠人工则难以实现,浪潮华光采用的分选机能够筛选出同一个波长、电流、电压的芯片。
在浪潮华光参观的过程中,无论是普通工作人员,还是该公司总经理郑铁民,都多次提及潍坊高新区对企业发展提供的帮助。据介绍,潍坊高新区不但为企业提供设备补贴,还在企业进口原料时,帮助企业争取政策,降低进口消费税,每年为企业节省成本720万元,大幅提高外延片等相关产品的市场竞争力。(